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压电微动工作台的动态迟滞模型

张栋 张承进 魏强

光学精密工程2009，Vol.17Issue(3)：549-556,8.
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光学精密工程2009，Vol.17Issue(3)：549-556,8.

压电微动工作台的动态迟滞模型

Dynamic hysteresis model of piezopositioning stage

张栋 1张承进 1魏强2

作者信息

  • 1. 山东大学,控制科学与工程学院,山东,济南,250061
  • 2. 泰山学院,物理与电子科学系,山东,泰安,271021
  • 折叠

摘要

关键词

压电微动工作台/运动定位/动态迟滞模型/PI迟滞模型/扫描探针显微镜

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张栋,张承进,魏强..压电微动工作台的动态迟滞模型[J].光学精密工程,2009,17(3):549-556,8.

基金项目

山东省科技发展计划资助项目(No.2007GG30D04D02) （No.2007GG30D04D02）

光学精密工程

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-924X

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