人工晶体学报2005，Vol.34Issue(3)：550-552,530,4.
电子辅助热丝化学气相沉积金刚石薄膜中氢原子谱线与最佳成膜条件
Atomic Hydrogen Emission Line and the Optimum Experimental Condition for Diamond Film Deposited by EACVD
摘要
关键词
金刚石薄膜/化学气相沉积/氢原子发射谱线/最佳成膜条件分类
数理科学引用本文复制引用
董丽芳,尚勇,王志军..电子辅助热丝化学气相沉积金刚石薄膜中氢原子谱线与最佳成膜条件[J].人工晶体学报,2005,34(3):550-552,530,4.基金项目
河北省自然科学基金重点项目(No.502121) （No.502121）
