电子器件2007，Vol.30Issue(2)：554-556,562,4.
MEMS器件自动优化算法及其实现
Algorithm of Automatic Optimization of MEMS Devices and Its Realization
赖文滨 1李伟华1
作者信息
- 1. 东南大学微电子中心,MEMS教育部重点实验室,南京,210096
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摘要
关键词
MEMS器件/自动优化算法/结构参数/固支梁分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
赖文滨,李伟华..MEMS器件自动优化算法及其实现[J].电子器件,2007,30(2):554-556,562,4.
