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LCoS反射层的实验研究

欧毅 宋玉龙 刘明 凌志华

液晶与显示2005，Vol.20Issue(6)：554-557,4.
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液晶与显示2005，Vol.20Issue(6)：554-557,4.

LCoS反射层的实验研究

Experimental Study on Reflective Layer of LCoS

欧毅 1宋玉龙 2刘明 1凌志华2

作者信息

  • 1. 中国科学院,微电子研究所,纳米加工与新器件集成技术实验室,北京,100029
  • 2. 中国科学院,长春光学精密机械与物理研究所,激发态物理重点实验室,吉林,长春,130033
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摘要

关键词

LCoS/电子束蒸发/反射率/电导率

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

欧毅,宋玉龙,刘明,凌志华..LCoS反射层的实验研究[J].液晶与显示,2005,20(6):554-557,4.

基金项目

国家"973"计划资助项目(No.2003CB314703, 2003CB314704) （No.2003CB314703, 2003CB314704）

液晶与显示

OA北大核心CSCD

1007-2780

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