强激光与粒子束2005，Vol.17Issue(4)：555-558,4.
基于Marangoni界面效应的数控化学抛光去除函数的研究
Removal function of computerized numerical controlled chemical polishing based on the Marangoni interface effect
摘要
关键词
Marangoni界面效应/数控化学抛光/去除函数/化学刻蚀分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
侯晶,许乔,雷向阳,周礼书,张清华,王健..基于Marangoni界面效应的数控化学抛光去除函数的研究[J].强激光与粒子束,2005,17(4):555-558,4.基金项目
中国工程物理研究院激光聚变研究中心创新基金资助课题 （）
