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基于弹性变形的微动工作台研究

邹锋 聂恒敬

现代制造工程Issue(9)：55-56,2.
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现代制造工程Issue(9)：55-56,2.

基于弹性变形的微动工作台研究

Research on the micro-position stage based on elastic deformation

邹锋 1聂恒敬1

作者信息

  • 1. 合肥工业大学仪器仪表学院检测研究所,230009
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摘要

关键词

微动工作台/弹性元件/线性度

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

邹锋,聂恒敬..基于弹性变形的微动工作台研究[J].现代制造工程,2003,(9):55-56,2.

现代制造工程

OA北大核心CSTPCD

1671-3133

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