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退火温度对ZnO薄膜晶体管电学性能的影响

张新安 张景文 张伟风 侯洵

液晶与显示2009,Vol.24Issue(4):557-561,5.
液晶与显示2009,Vol.24Issue(4):557-561,5.

退火温度对ZnO薄膜晶体管电学性能的影响

Effect of Annealing Temperature on Electrical Properties of ZnO-TFT

张新安 1张景文 2张伟风 2侯洵1

作者信息

  • 1. 河南大学,物理与电子学院,河南,开封,475004
  • 2. 西安交通大学,陕西省信息光子技术重点实验室,陕西,西安,710049
  • 折叠

摘要

关键词

氧化锌/薄膜/晶体管/退火

分类

数理科学

引用本文复制引用

张新安,张景文,张伟风,侯洵..退火温度对ZnO薄膜晶体管电学性能的影响[J].液晶与显示,2009,24(4):557-561,5.

液晶与显示

OA北大核心CSCDCSTPCD

1007-2780

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