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Si3N4微尺度薄膜比热特性测量研究

宋青林 夏善红 陈绍凤 张建刚

测控技术2004，Vol.23Issue(3)：5-6,9,3.
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测控技术2004，Vol.23Issue(3)：5-6,9,3.

Si3N4微尺度薄膜比热特性测量研究

Research on Specific Heat of Silicon Nitride Thin Membrane

宋青林 1夏善红 1陈绍凤 1张建刚1

作者信息

  • 1. 中国科学院,电子学研究所,传感技术国家重点实验室,100080
  • 折叠

摘要

关键词

比热/悬膜/温度系数

分类

数理科学

引用本文复制引用

宋青林,夏善红,陈绍凤,张建刚..Si3N4微尺度薄膜比热特性测量研究[J].测控技术,2004,23(3):5-6,9,3.

基金项目

国家"973"资助项目(G1999033102) （G1999033102）

测控技术

OACSCDCSTPCD

1000-8829

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