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(Al,Zr)共掺杂ZnO透明导电薄膜的结构以及光电性能研究

薛建设 林炜 马瑞新 康勃 吴中亮

液晶与显示2007，Vol.22Issue(5)：560-564,5.
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液晶与显示2007，Vol.22Issue(5)：560-564,5.

(Al,Zr)共掺杂ZnO透明导电薄膜的结构以及光电性能研究

Structural, Optical and Electrical Properties of Al-Zr Codoped ZnO Transparent Conductive Thin Films

薛建设 1林炜 2马瑞新 2康勃 2吴中亮2

作者信息

  • 1. 北京京东方光电科技有限公司,北京,100176
  • 2. 北京科技大学,冶金与生态工程学院,北京,100083
  • 折叠

摘要

关键词

氧化锌/透明导电薄膜/电阻率/透光率/射频磁控溅射

分类

数理科学

引用本文复制引用

薛建设,林炜,马瑞新,康勃,吴中亮..(Al,Zr)共掺杂ZnO透明导电薄膜的结构以及光电性能研究[J].液晶与显示,2007,22(5):560-564,5.

基金项目

北京市科委科技计划资助项目(No.D0306006000091,No.D0304002000021) （No.D0306006000091,No.D0304002000021）

液晶与显示

OA北大核心CSCDCSTPCD

1007-2780

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