江西科学2009，Vol.27Issue(4)：560-564,638,6.
基于微流体芯片的准分子激光微加工技术的研究进展
Progress of Excimer Laser Micromachining Based on Microfabrication of Microfludic Biochips
摘要
关键词
准分子激光微加工/微流体芯片/光蚀刻分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘逸轩,周金运,陈宇星..基于微流体芯片的准分子激光微加工技术的研究进展[J].江西科学,2009,27(4):560-564,638,6.基金项目
广州市科技计划资助项目(2006Z3-D0041). （2006Z3-D0041）
