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微加速度计

胡莉 李茜

四川大学学报（自然科学版）2004，Vol.41Issue(z1)：561-564,4.
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四川大学学报（自然科学版）2004，Vol.41Issue(z1)：561-564,4.

微加速度计

Micro - accelerometer

胡莉 1李茜1

作者信息

  • 1. 西南科技大学信控学院,绵阳,621000
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摘要

关键词

微加速度计/电容/单晶硅

分类

机械制造

引用本文复制引用

胡莉,李茜..微加速度计[J].四川大学学报（自然科学版）,2004,41(z1):561-564,4.

四川大学学报（自然科学版）

OA北大核心CSCDCSTPCD

0490-6756

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