半导体学报2005，Vol.26Issue(3)：562-566,5.
热电耦合微执行器温度分布的节点分析法
A Nodal Analysis Method for Temperature Distribution of Thermo-Electrical Coupled Thermal Microactuators
摘要
关键词
MEMS热执行器/梁单元/热电耦合/节点分析法分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
黎仁刚,黄庆安,李伟华..热电耦合微执行器温度分布的节点分析法[J].半导体学报,2005,26(3):562-566,5.基金项目
国家杰出青年科学基金资助项目(批准号:50325519) （批准号:50325519）
