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微机电系统技术及其在航天器上的应用展望

申坤

空间控制技术与应用2008，Vol.34Issue(1)：56-59,4.
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空间控制技术与应用2008，Vol.34Issue(1)：56-59,4.

微机电系统技术及其在航天器上的应用展望

Technology of MEMS and Applications in Spacecraft

申坤1

作者信息

  • 1. 北京控制工程研究所,北京,100080
  • 折叠

摘要

关键词

微机电系统/技术特征/关键技术/加工工艺

分类

信息技术与安全科学

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申坤..微机电系统技术及其在航天器上的应用展望[J].空间控制技术与应用,2008,34(1):56-59,4.

空间控制技术与应用

1674-1579

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