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工艺参数对氧化镁(MgO)薄膜的结构影响

喻志农 郑德修 孙鉴

真空电子技术Issue(1)：56-60,5.
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真空电子技术Issue(1)：56-60,5.

工艺参数对氧化镁(MgO)薄膜的结构影响

喻志农 1郑德修 1孙鉴1

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摘要

关键词

薄膜结构/工艺参数/氧化镁薄膜

分类

信息技术与安全科学

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喻志农,郑德修,孙鉴..工艺参数对氧化镁(MgO)薄膜的结构影响[J].真空电子技术,2000,(1):56-60,5.

真空电子技术

OACSTPCD

1002-8935

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