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纳米硅薄膜分形凝聚模型

林鸿溢 余卫武 武旭辉 何宇亮

半导体学报Issue(8):567,1.
半导体学报Issue(8):567,1.

纳米硅薄膜分形凝聚模型

林鸿溢 1余卫武 1武旭辉 1何宇亮1

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摘要

关键词

纳米硅薄膜/分形凝聚模型/半导体薄膜/薄膜

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

林鸿溢,余卫武,武旭辉,何宇亮..纳米硅薄膜分形凝聚模型[J].半导体学报,1995,(8):567,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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