电子科技2008，Vol.21Issue(10)：5-7,10,4.
硅基LiNbO3薄膜的工艺研究及其性能分析
Techniques and Performance of LiNbO3 Films on Si Substrates
余凌 1戴基智1
作者信息
- 1. 电子科技大学光电信息学院,四川,成都,610054
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摘要
关键词
光波导/LiNbO3薄膜/射频磁控溅射法/硅衬底分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
余凌,戴基智..硅基LiNbO3薄膜的工艺研究及其性能分析[J].电子科技,2008,21(10):5-7,10,4.
