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高测速双频激光干涉仪及其性能检测

闫聚群 吴健 高赛 殷纯永

计量学报2005,Vol.26Issue(1):5-7,19,4.
计量学报2005,Vol.26Issue(1):5-7,19,4.

高测速双频激光干涉仪及其性能检测

Dual-frequency Laser Interferometer with High Measurement Speed and Its Performance Testing

闫聚群 1吴健 2高赛 1殷纯永1

作者信息

  • 1. 清华大学精密仪器与机械学系,精密测量技术与仪器国家重点实验室,北京,100084
  • 2. 普锐科创科技有限责任公司,北京,100085
  • 折叠

摘要

关键词

计量学/双频激光干涉仪/高测速/外触发频率

分类

通用工业技术

引用本文复制引用

闫聚群,吴健,高赛,殷纯永..高测速双频激光干涉仪及其性能检测[J].计量学报,2005,26(1):5-7,19,4.

基金项目

国家自然科学基金(50027002) (50027002)

清华大学博士生创新基金(第二期) (第二期)

计量学报

OA北大核心CSCD

1000-1158

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