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一种MEMS热风速计的系统级封装

张骅 沈广平 吴剑 秦明

传感技术学报2008，Vol.21Issue(4)：571-573,3.
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传感技术学报2008，Vol.21Issue(4)：571-573,3.

一种MEMS热风速计的系统级封装

A System-Level Package of MEMS Thermal Flow Sensor

张骅 1沈广平 1吴剑 1秦明1

作者信息

  • 1. 东南大学MEMS教育部重点实验室,南京,210096
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摘要

关键词

MEMS/热风速计/封装

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

张骅,沈广平,吴剑,秦明..一种MEMS热风速计的系统级封装[J].传感技术学报,2008,21(4):571-573,3.

基金项目

国家自然科学基金资助课题(64076019) （64076019）

传感技术学报

OA北大核心CSCDCSTPCD

1004-1699

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