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Ti缓冲层及退火处理对Si(111)基片上生长的ZnO薄膜结构和发光特性的影响

魏玮 刘明 曲盛薇 张庆瑜

物理学报2009,Vol.58Issue(8):5736-5743,8.
物理学报2009,Vol.58Issue(8):5736-5743,8.

Ti缓冲层及退火处理对Si(111)基片上生长的ZnO薄膜结构和发光特性的影响

Photoluminescence of as-grown and annealed ZnO films on Ti-buffered Si(111)substrates

魏玮 1刘明 1曲盛薇 1张庆瑜1

作者信息

  • 1. 大连理工大学三束材料改性国家重点实验室,大连,116024
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摘要

关键词

ZnO薄膜/缓冲层/退火处理/应力分析

分类

数理科学

引用本文复制引用

魏玮,刘明,曲盛薇,张庆瑜..Ti缓冲层及退火处理对Si(111)基片上生长的ZnO薄膜结构和发光特性的影响[J].物理学报,2009,58(8):5736-5743,8.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:10605009,10774018)和国家重点基础研究发展计划(批准号:2007CB616902)资助的课题. (批准号:10605009,10774018)

物理学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-3290

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