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直拉硅单晶中氮关新施主的研究

张溪文 阙端麟

半导体学报Issue(8)：574,1.
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半导体学报Issue(8)：574,1.

直拉硅单晶中氮关新施主的研究

张溪文 1阙端麟1

作者信息

  • 1. 硅材料科学国家重点实验室
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摘要

关键词

直拉硅单晶/硅单晶/硅材料/氮关新施主

分类

信息技术与安全科学

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张溪文,阙端麟..直拉硅单晶中氮关新施主的研究[J].半导体学报,1998,(8):574,1.

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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