半导体学报2007，Vol.28Issue(z1)：574-578,5.
铌酸锂CMP速率的影响因素分析
Analysis of Factors Affecting CMP Removal Rate of Lithium Niobate
檀柏梅 1牛新环 1韩丽丽 1刘玉岭 1崔春翔1
作者信息
摘要
关键词
铌酸锂/CMP/去除速率/抛光液分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
檀柏梅,牛新环,韩丽丽,刘玉岭,崔春翔..铌酸锂CMP速率的影响因素分析[J].半导体学报,2007,28(z1):574-578,5.
