华中科技大学学报（自然科学版）2004，Vol.32Issue(12)：57-59,3.
纳米压印光刻技术的研究
Nanoimprint lithography technology
摘要
关键词
纳米压印光刻/热压雕版压印/微器件制作分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张鸿海,胡晓峰,范细秋,刘胜..纳米压印光刻技术的研究[J].华中科技大学学报（自然科学版）,2004,32(12):57-59,3.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50475137). （50475137）
国家自然科学基金资助项目(50475137). （50475137）
