真空电子技术Issue(2)：57-59,3.
宽束矩形冷阴极潘宁离子源研究
Study of a Broad Beam Rectangle Cold Cathode PIG Ion Source
欧阳礼仁 1郑德修1
作者信息
- 1. 西安交通大学,电子物理与器件研究所,陕西,西安,710049
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摘要
关键词
离子源/宽束/矩形/等离子体显示器/潘宁放电分类
数理科学引用本文复制引用
欧阳礼仁,郑德修..宽束矩形冷阴极潘宁离子源研究[J].真空电子技术,2003,(2):57-59,3.
