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各向异性材料光学常数全自动椭偏测仪

李洋 唐宁 姚熹

机电工程技术2004,Vol.33Issue(1):57-60,4.
机电工程技术2004,Vol.33Issue(1):57-60,4.

各向异性材料光学常数全自动椭偏测仪

Automatic Ellipsometry Measurement Instrument for Anisotropic Materials

李洋 1唐宁 1姚熹2

作者信息

  • 1. 西北电力试验研究院,陕西西安,710054
  • 2. 西安交通大学,陕西西安,710049
  • 折叠

摘要

关键词

各向异性材料/椭偏测试/集成化软件

分类

机械制造

引用本文复制引用

李洋,唐宁,姚熹..各向异性材料光学常数全自动椭偏测仪[J].机电工程技术,2004,33(1):57-60,4.

机电工程技术

1009-9492

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