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包装材料对硅片表面洁净度的影响

曹孜 张大年

世界有色金属Issue(7)：57-60,4.
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世界有色金属Issue(7)：57-60,4.

包装材料对硅片表面洁净度的影响

Impact of package material to surface cleanness of silicon wafer

曹孜 1张大年1

作者信息

  • 1. 有研半导体材料股份有限公司
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摘要

关键词

硅片表面/包装材料/洁净度/微电子技术/生产效率/纳米线宽/微细加工/特征尺寸

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

曹孜,张大年..包装材料对硅片表面洁净度的影响[J].世界有色金属,2007,(7):57-60,4.

世界有色金属

1002-5065

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