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离子束能量和衬底温度对氧化钆结构的影响

周剑平 柴春林 杨少延 刘志凯 宋书林 李艳丽 陈诺夫 林元华

半导体学报2005，Vol.26Issue(z1)：57-60,4.
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半导体学报2005，Vol.26Issue(z1)：57-60,4.

离子束能量和衬底温度对氧化钆结构的影响

Effect of Ion Energy and Substrate Temperature on Gadolinium Oxide Structure

周剑平 1柴春林 2杨少延 2刘志凯 2宋书林 2李艳丽 2陈诺夫 2林元华2

作者信息

  • 1. 清华大学材料科学与工程系,新型陶瓷与精细工艺国家重点实验室,北京,100084
  • 2. 中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室,北京,100083
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摘要

关键词

离子束沉积/晶体结构/XPS

分类

数理科学

引用本文复制引用

周剑平,柴春林,杨少延,刘志凯,宋书林,李艳丽,陈诺夫,林元华..离子束能量和衬底温度对氧化钆结构的影响[J].半导体学报,2005,26(z1):57-60,4.

基金项目

国家重点基础研究发展规划(批准号:G20000365,G2002CB31905)和国家高技术研究发展计划(批准号:2003AA302120)资助项目 （批准号:G20000365,G2002CB31905）

半导体学报

OA北大核心CSCD

1674-4926

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