半导体学报2005，Vol.26Issue(1)：57-61,5.
难熔金属与n-GaAs的欧姆接触特性
Electrical and Structural Properties of Mo/W/Ti/Au Ohmic Contacts to n-GaAs
刘文超 1夏冠群 1李冰寒 1黄文奎 1刘延祥1
作者信息
- 1. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050
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摘要
关键词
Mo/W/Ti/Au/GaAs/欧姆接触/钝化分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘文超,夏冠群,李冰寒,黄文奎,刘延祥..难熔金属与n-GaAs的欧姆接触特性[J].半导体学报,2005,26(1):57-61,5.
