传感技术学报2008，Vol.21Issue(4)：578-580,3.
一种单片集成电容式压力传感器的设计、制造和测试
Design, Fabrication and Test of a Monolithic Capacitive Pressure Sensor
摘要
关键词
单片集成/电容式压力传感器/接口电路分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
黄晓东,王斌,秦明,黄庆安..一种单片集成电容式压力传感器的设计、制造和测试[J].传感技术学报,2008,21(4):578-580,3.基金项目
国家自然科学基金重点项目资助课题(90607002) （90607002）
