传感技术学报2008，Vol.21Issue(4)：581-584,4.
一种新型压阻式加速度传感器的设计与加工
Design and Fabrication of a Novel Piezoresistive Accelerometer
摘要
关键词
共振隧穿纳米薄膜/压阻式加速度计/控制孔工艺分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
胡杰,薛晨阳,张文栋,张斌珍,乔慧..一种新型压阻式加速度传感器的设计与加工[J].传感技术学报,2008,21(4):581-584,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(50405025,50535030) （50405025,50535030）
