机械科学与技术2009，Vol.28Issue(5)：582-586,5.
双边驱动精密运动台振动特性研究
Investigation of the Vibration Characteristic of a Dual-drive Precision Stage
摘要
关键词
双边驱动/平面两自由度/气浮精密运动台/传感器布置分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
贾松涛,朱煜,杨开明,徐登峰,王春洪..双边驱动精密运动台振动特性研究[J].机械科学与技术,2009,28(5):582-586,5.基金项目
国家自然科学基金项目(50577037)资助 （50577037）
