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中频反应磁控溅射制备具有光致亲水性TiO2薄膜

段永利 许生 巴德纯 范垂祯

辽宁工程技术大学学报（自然科学版）2007，Vol.26Issue(4)：584-587,4.
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辽宁工程技术大学学报（自然科学版）2007，Vol.26Issue(4)：584-587,4.

中频反应磁控溅射制备具有光致亲水性TiO2薄膜

Preparation of light-induced hydrophilic TiO2 thin films by reactive mid-frequency magnetron sputter

段永利 1许生 2巴德纯 1范垂祯2

作者信息

  • 1. 东北大学,机械工程与自动化学院,辽宁,沈阳,110004
  • 2. 深圳豪威真空光电子股份有限公司,广东,深圳,518057
  • 折叠

摘要

关键词

TiO2薄膜/中频/亲水性/PEM/反应溅射/退火

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

段永利,许生,巴德纯,范垂祯..中频反应磁控溅射制备具有光致亲水性TiO2薄膜[J].辽宁工程技术大学学报（自然科学版）,2007,26(4):584-587,4.

基金项目

国家863课题基金资助项目 (2004AA303540) （2004AA303540）

辽宁工程技术大学学报（自然科学版）

OA北大核心CSTPCD

1008-0562

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