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射频溅射a-Si:H样品的光诱导光学吸收的变化

章佩娴 谭翠玲 朱琼瑞 彭少麒

半导体学报Issue(6):586,1.
半导体学报Issue(6):586,1.

射频溅射a-Si:H样品的光诱导光学吸收的变化

章佩娴 1谭翠玲 1朱琼瑞 1彭少麒1

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章佩娴,谭翠玲,朱琼瑞,彭少麒..射频溅射a-Si:H样品的光诱导光学吸收的变化[J].半导体学报,1983,(6):586,1.

半导体学报

1674-4926

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