天津师范大学学报（自然科学版）2003，Vol.23Issue(2)：58-61,4.
类金刚石碳膜和氮化钛的摩擦学性能研究
A Comparison on Structural and Tribological Properties of Diamond-like Carbon and Titanium Nitride Films
摘要
关键词
类金刚石膜/氮化钛薄膜/磁控溅射/表面硬度/摩擦系数分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
刘谦祥,郭希铭,赵杰,李德军..类金刚石碳膜和氮化钛的摩擦学性能研究[J].天津师范大学学报（自然科学版）,2003,23(2):58-61,4.基金项目
国家自然科学基金资助项目(10075034),天津市自然科学基金资助项目(023613611) （10075034）
