物理学报2006，Vol.55Issue(11)：5872-5877,6.
一种新型微空阴极结构的大气压射频冷等离子体源
A new atmospheric RF cold plasma source with microhollow cathode structure
裘亮 1孟月东 1任兆杏 1钟少锋1
作者信息
- 1. 中国科学院等离子体物理研究所,合肥,230031
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摘要
关键词
微空阴极/大气压/冷等离子体/射频分类
数理科学引用本文复制引用
裘亮,孟月东,任兆杏,钟少锋..一种新型微空阴极结构的大气压射频冷等离子体源[J].物理学报,2006,55(11):5872-5877,6.
