|国家科技期刊平台
| 注册
首页|期刊导航|物理学报|超大规模集成电路互连电迁移自由体积电阻模型

超大规模集成电路互连电迁移自由体积电阻模型

宗兆翔 杜磊 庄奕琪 何亮 吴勇

物理学报2005，Vol.54Issue(12)：5872-5878,7.
✕
物理学报2005，Vol.54Issue(12)：5872-5878,7.

超大规模集成电路互连电迁移自由体积电阻模型

Modeling of resistance changes based on the free volume in VLSI interconnection electromigration

宗兆翔 1杜磊 1庄奕琪 2何亮 1吴勇2

作者信息

  • 1. 西安电子科技大学技术物理学院,西安,710071
  • 2. 西安电子科技大学微电子研究所,西安,710071
  • 折叠

摘要

关键词

电迁移/Al互连/电阻变化

分类

数理科学

引用本文复制引用

宗兆翔,杜磊,庄奕琪,何亮,吴勇..超大规模集成电路互连电迁移自由体积电阻模型[J].物理学报,2005,54(12):5872-5878,7.

基金项目

国家自然科学基金(批准号:60376023)资助的课题. （批准号:60376023）

物理学报

OA北大核心CSCDSCI

1000-3290

访问量0
|
下载量0
段落导航相关论文