传感技术学报2008，Vol.21Issue(4)：589-592,4.
梳状电极双轴微机械加速度计的研制
The Comb Electrode Dual-Axis Micromachined Accelerometer
陈伟平 1赵振刚 1丁金玲 1刘晓为 1马原芳1
作者信息
- 1. 哈尔滨工业大学MEMS中心,哈尔滨,150001
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摘要
关键词
微机械电子系统/双轴加速度传感器/梳状电极/有限元分析分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
陈伟平,赵振刚,丁金玲,刘晓为,马原芳..梳状电极双轴微机械加速度计的研制[J].传感技术学报,2008,21(4):589-592,4.
