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硅液相外延工艺研究

江鉴

上海航天Issue(1)：59,1.
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上海航天Issue(1)：59,1.

硅液相外延工艺研究

江鉴1

作者信息

  • 1. 航天工业总公司八院809所;浙江大学硅材料科学国家重点实验室
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摘要

关键词

硅/液相外延/薄膜/LPE/衬底

分类

信息技术与安全科学

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江鉴..硅液相外延工艺研究[J].上海航天,1998,(1):59,1.

上海航天

2096-8655

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