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测控技术
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微型机电系统技术及其21世纪应用展望
微型机电系统技术及其21世纪应用展望
孙柏林
测控技术
1999,Vol.18
Issue(1):5-9,5.
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测控技术
1999,Vol.18
Issue(1)
:5-9,5.
微型机电系统技术及其21世纪应用展望
Technology Summary of the MEMS and Applied Prospects for the 21 Century
孙柏林
1
作者信息
1.
北京军事科学院
折叠
摘要
关键词
微型机电系统
/
军事应用
分类
信息技术与安全科学
引用本文
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孙柏林..微型机电系统技术及其21世纪应用展望[J].测控技术,1999,18(1):5-9,5.
测控技术
OA
CSCD
ISSN:
1000-8829
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