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微型机电系统技术及其21世纪应用展望

孙柏林

测控技术1999,Vol.18Issue(1):5-9,5.
测控技术1999,Vol.18Issue(1):5-9,5.

微型机电系统技术及其21世纪应用展望

Technology Summary of the MEMS and Applied Prospects for the 21 Century

孙柏林1

作者信息

  • 1. 北京军事科学院
  • 折叠

摘要

关键词

微型机电系统/军事应用

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

孙柏林..微型机电系统技术及其21世纪应用展望[J].测控技术,1999,18(1):5-9,5.

测控技术

OACSCD

1000-8829

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