半导体学报2007，Vol.28Issue(z1)：591-594,4.
基于AlN压电层的薄膜体声波谐振器
Film Bulk Acoustic Resonator Based on AlN Piezoelectric Cell
摘要
关键词
薄膜体声波谐振器/氮化铝/择优取向/空腔分类
电子信息工程引用本文复制引用
胡光,张凯,叶芸,吴雯,刘婵,顾豪爽..基于AlN压电层的薄膜体声波谐振器[J].半导体学报,2007,28(z1):591-594,4.基金项目
武汉市科技攻关计划(批准号:20061002073)和国家自然科学基金(批准号:50572026)资助项目 （批准号:20061002073）
