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氟化物溶液腐蚀后硅表面形态的STM与XPS研究

李静 吴孙桃 叶建辉 LISFY

厦门大学学报（自然科学版）2003，Vol.42Issue(5)：591-595,5.
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厦门大学学报（自然科学版）2003，Vol.42Issue(5)：591-595,5.

氟化物溶液腐蚀后硅表面形态的STM与XPS研究

The STM and XPS Characterization of Etched Si (111) Surfaces

李静 1吴孙桃 2叶建辉 3LISFY1

作者信息

  • 1. 厦门大学萨本栋微机电研究中心,福建,厦门,361005
  • 2. 新加坡国立大学材料与工程研究所,新加坡,119206
  • 3. 新加坡国立大学化学系,新加坡,119206
  • 折叠

摘要

关键词

Si(111)表面/腐蚀/STM/XPS

分类

信息技术与安全科学

引用本文复制引用

李静,吴孙桃,叶建辉,LISFY..氟化物溶液腐蚀后硅表面形态的STM与XPS研究[J].厦门大学学报（自然科学版）,2003,42(5):591-595,5.

基金项目

国家自然科学基金重大研究计划(90206039)和国家重点基础研究发展规划(001CB610505)资助 （90206039）

厦门大学学报（自然科学版）

OA北大核心CSCDCSTPCD

0438-0479

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