传感技术学报2008，Vol.21Issue(4)：593-595,3.
谐振式微机械加速度计设计的关键技术
Critical Technologies in Design of Micromechanical Resonant Accelerometer
摘要
关键词
微机电系统/微机械加速度计/谐振器/建模分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
任杰,樊尚春,王路达..谐振式微机械加速度计设计的关键技术[J].传感技术学报,2008,21(4):593-595,3.基金项目
国家高技术研究发展计划资助(2006AA042364) （2006AA042364）
