四川师范大学学报（自然科学版）2008，Vol.31Issue(5)：593-596,4.
溅射参数对Fe-Si化合物的相形成及结构的影响
The Influences of Sputtering Parameters on Formation and Structure of Fe-Si Compounds
摘要
关键词
磁控溅射/溅射参数/Fe-Si化合物/X-射线衍射/晶体结构分类
数理科学引用本文复制引用
张晋敏,谢泉,梁艳,曾武贤..溅射参数对Fe-Si化合物的相形成及结构的影响[J].四川师范大学学报（自然科学版）,2008,31(5):593-596,4.基金项目
教育部留学回国人员科研基金(教外司(2005)383)贵州省自然科学基金[黔科通(2008)75号],2007贵阳市科技局大学生创业科技项目基金((2007)筑科计合同字第6-3号,(2007)筑科计合同字第6-1号)资助项目 （教外司(2005）
