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BaxSr1-xTiO3前驱多层膜制备及后热处理条件的优化

郭杏元 刘庆峰 刘茜 吴庆生

无机材料学报2003，Vol.18Issue(3)：595-600,6.
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无机材料学报2003，Vol.18Issue(3)：595-600,6.

BaxSr1-xTiO3前驱多层膜制备及后热处理条件的优化

Multilayer Thin-film Synthesis of BaxSr1-xTiO3 Precursor and Post-annealing Processes for Final Phases

郭杏元 1刘庆峰 1刘茜 1吴庆生2

作者信息

  • 1. 中国科学院上海硅酸盐研究所高性能陶瓷和超微结构国家重点实验室,上海,200050
  • 2. 同济大学化学系,上海,200098
  • 折叠

摘要

关键词

BaxSr1-xTiO3/离子束溅射/顺序沉积/AES/扩散

分类

数理科学

引用本文复制引用

郭杏元,刘庆峰,刘茜,吴庆生..BaxSr1-xTiO3前驱多层膜制备及后热处理条件的优化[J].无机材料学报,2003,18(3):595-600,6.

基金项目

中国科学院知识创新工程方向性项目(KGCX2-201-1) （KGCX2-201-1）

国家自然科学基金(20151003/B01) （20151003/B01）

无机材料学报

OA北大核心CSCDCSTPCDSCI

1000-324X

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