华中科技大学学报（自然科学版）2001，Vol.29Issue(10)：59-61,3.
主动控制空气静压精密直移工作台系统的研究
The High Precise Straight-moving Work-bench with the Active Controlled Air Bearings
摘要
关键词
空气支承/激光探头/伺服控制/运动精度分类
机械制造引用本文复制引用
李国顺,傅勤毅,文振华..主动控制空气静压精密直移工作台系统的研究[J].华中科技大学学报（自然科学版）,2001,29(10):59-61,3.基金项目
国家自然科学基金资助项目 （）
