真空电子技术Issue(6)：59-61,3.
沉积温度对碳膜结构及其场发射特性的影响
The Effects of the Growth Temperature of Carbon Films on Its Structure and Field Emission Properties
高金海 1张兰 2姚宁 1张兵临1
作者信息
- 1. 郑州大学物理工程学院,河南,郑州,450002
- 2. 郑州大学工程力学学院,河南,郑州,450002
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摘要
关键词
微波等离子体化学气相沉积/场致电子发射/金刚石聚晶分类
通用工业技术引用本文复制引用
高金海,张兰,姚宁,张兵临..沉积温度对碳膜结构及其场发射特性的影响[J].真空电子技术,2007,(6):59-61,3.
