光学精密工程2004，Vol.12Issue(6)：598-602,5.
微热板式气压传感器结构设计与热分析
Design and thermal analysis of gas pressure sensor with micro-hotplate
摘要
关键词
微热板/气压传感器/热分析/有限元分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
张凤田,唐祯安,高仁璟,金仁成,郭文泰,王海霞..微热板式气压传感器结构设计与热分析[J].光学精密工程,2004,12(6):598-602,5.基金项目
国家自然科学基金资助项目(No.90207003) （No.90207003）
