半导体学报2002，Vol.23Issue(6)：599-603,5.
有机衬底SnO2∶Sb透明导电膜的研究
Transparent Conducting SnO2∶Sb Films Deposited on Organic Substrates
摘要
关键词
有机衬底/SnO2∶Sb膜/磁控溅射分类
信息技术与安全科学引用本文复制引用
马瑾,郝晓涛,马洪磊,张德恒,徐现刚..有机衬底SnO2∶Sb透明导电膜的研究[J].半导体学报,2002,23(6):599-603,5.基金项目
高等学校骨干教师基金,教育部科学技术研究重点资助项目 （）
