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光学精密工程
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微器件装配系统总体方案研究
微器件装配系统总体方案研究
郑巍
光学精密工程
Issue(4):60,1.
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光学精密工程
Issue(4)
:60,1.
微器件装配系统总体方案研究
郑巍
1
作者信息
1.
清华大学精密仪器与机械学系
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摘要
关键词
微器件
/
微装配
/
操作手
/
总体设计
分类
机械制造
引用本文
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郑巍..微器件装配系统总体方案研究[J].光学精密工程,1998,(4):60,1.
光学精密工程
OA
CSCD
ISSN:
1004-924X
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