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用于微机械工艺的精密电铸设备

陈英俊

光学精密工程Issue(3)：60,1.
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光学精密工程Issue(3)：60,1.

用于微机械工艺的精密电铸设备

陈英俊1

作者信息

  • 1. 中国科学院长春光学精密机械研究所，长春130022;中国科学院长春光学精密机械研究所，长春130022
  • 折叠

摘要

关键词

微型机械/LIGA工艺/精密电铸设备

分类

矿业与冶金

引用本文复制引用

陈英俊..用于微机械工艺的精密电铸设备[J].光学精密工程,1995,(3):60,1.

基金项目

国家自然科学基金委基金 （）

光学精密工程

OACSCD

1004-924X

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