硅酸盐学报2007，Vol.35Issue(5)：600-605,6.
镀SiO2膜玻璃基片上化学气相沉积法制备SnO2:Sb薄膜
PREPARATION OF SnO2:Sb FILMS ON SiO2-COATED SODA-LIME GLASS BY CHEMICAL VAPOR DEPOSITION METHOD
摘要
关键词
锑掺杂氧化锡薄膜/化学气相沉积/基板温度/基板输送速度/择优取向引用本文复制引用
周祥,赵青南,王鹏,赵修建..镀SiO2膜玻璃基片上化学气相沉积法制备SnO2:Sb薄膜[J].硅酸盐学报,2007,35(5):600-605,6.基金项目
国家高技术研究发展863计划(2002AA335030)资助项目. （2002AA335030）
